每片晶圆由成百上千个方形的芯片组成
如何进行芯片的测试呢?这时就要用到芯片测试机。
某型号芯片测试机外观图
芯片测试:判定芯片的“生”与“死”的分水岭芯片测试机中,一个重要的组成部分就是芯片测试卡。芯片测试卡中有很多微针结构。在测试的时候,这些微针结构与芯片上固定的位点(所谓的bondpad)接触,依靠这种接触完成电信号的输入与读取。测试完成一个芯片,再测试另外一个芯片。依次完成一片晶圆中所有芯片的测试。
含有微针结构的测试卡
芯片测试卡在工作时不能同时接触所有芯片,只能依次接触单个芯片
上面的动图中,虽然探针卡与芯片只接触了不到一秒,但是就在那不到一秒钟中,它可以完成成百到上万种电信号的测试。比如A回路的电流,B回路的电压,C回路的电容,晶体管的输入输出延迟等等,就跟体检中需要完成视力,听力,血压等多种测试一样。当然,具体测试什么内容,是要根据芯片的功能与目标来决定的。
需要注意的是,只有当所有的电学信号满足要求,才认为它通过了电路测试,这种芯片我们称之为“活芯片”。只要有一种电学信号不满足要求,则认为它没有通过电路测试,这种芯片我们称之为“死芯片”。良率就是活芯片占所有芯片的百分比。
测试完成后,你就会得到这样一张花花绿绿的测试结果图,不过它代表的结果并不是五彩斑斓般的美好,因为——一些色彩代表死芯片。
晶圆测试probemap示意图
假定上图中绿色的代表活性片,其他颜色的代表死芯片,不同的颜色代表不同的“死法”,比如红色代表某回路漏电流过大,蓝色代表某回路击穿电压过小。系统会自动记录这些信息。当晶圆运送到封装厂进行切割与封装时,系统自动剔除死芯片将其报废,而只加工活芯片。
芯片中的“优等生”与“中等生”活芯片中都是一等一的好货吗?并不是。
因为芯片通过测试环节,只代表它可以按照设计要求完成基本的功能。但是,依旧可以按照重点